無需EUV也能到2nm工藝 國產(chǎn)專利4年前已有準備
我要評論12月6日消息，無需在先進工藝發(fā)展路線中，也已5nm以下節(jié)點都轉(zhuǎn)向了EUV工藝，到年前DUV光刻微縮到7nm就已經(jīng)很難，工藝國產(chǎn)但這顯然不是專利準備國內(nèi)發(fā)展的極限，未來可能一路做到2nm級別。無需
國內(nèi)的也已半導(dǎo)體工藝在未來幾年中需要在無EUV的情況下發(fā)展，但是到年前即便不考慮外部制裁的影響，追求DUV光刻工藝極限也是工藝國產(chǎn)需要發(fā)展的，國內(nèi)也早就在做這些研究。專利準備
集邦科技科技日前的無需報道也舊事重提，指出華為早在2021年就發(fā)表了相關(guān)研究論文，也已提交的到年前專利申請介紹了SAQP（自對準四重圖案化）的技術(shù)，在沒有EUV光刻機的工藝國產(chǎn)情況下也能做到2nm級工藝。
該專利使用DUV光刻機及SAQP做出的專利準備芯片柵極距低于21nm，這正是2nm工藝的門檻水平。
這里需要強調(diào)的是，很多報道中把SAQP翻譯成了四重光刻，這是錯誤的，四重圖案不等于四重光刻，這兩個意思有天淵之別，四重光刻不論技術(shù)上還是成本上都是不可接受的，幾乎沒有可能性。
此外，2nm工藝也不是華為等機構(gòu)的終點，華為還申請了大量GAA環(huán)繞柵極晶體管以及CFET互補氧化物晶體管相關(guān)的專利，后者則是公認的1nm以下到0.1nm節(jié)點的關(guān)鍵技術(shù)之一。
以上提及的主要是技術(shù)專利，不等于這些技術(shù)馬上就能量產(chǎn)，但是這些技術(shù)研究證明了國內(nèi)在先進工藝上的探索不僅不會停止，而且會走出不一樣的路線。
這不僅會讓國內(nèi)的芯片不再受外部制裁的影響，更重要的是當國內(nèi)用DUV路線做出2nm芯片時，臺積電、三星、Intel等公司用昂貴的EUV甚至High NA EUV光刻機生產(chǎn)芯片，哪邊會更怕競爭力不足呢？
相關(guān)文章
專家鑒定國際領(lǐng)先！小米滾筒洗衣機三大核心技術(shù)行業(yè)首創(chuàng)
12月29日消息，小米技術(shù)官微發(fā)文稱，日前，中國輕工業(yè)聯(lián)合會在武漢組織召開小米大家電“標準尺寸箱體滾筒洗衣機分區(qū)洗關(guān)鍵技術(shù)研究及產(chǎn)業(yè)化”項目科技成果鑒定會。小米滾筒洗衣機三大核2025-12-30
中央網(wǎng)信辦嚴打一批涉學(xué)術(shù)論文買賣違法違規(guī)賬號
中新網(wǎng)11月13日電 據(jù)“網(wǎng)信中國”微信公眾號消息，近期，部分網(wǎng)絡(luò)賬號違規(guī)提供學(xué)術(shù)論文買賣、代發(fā)、代投服務(wù)，嚴重擾亂網(wǎng)絡(luò)秩序，污染網(wǎng)絡(luò)生態(tài)。我辦依法嚴懲一批違法違規(guī)賬號，現(xiàn)將部分典型案例通報如下：一、2025-12-30
“鬼滅”首登內(nèi)地大銀幕！動畫電影《鬼滅之刃：無限城篇》上映 一刀未剪
11月14日消息，今日，《鬼滅之刃：無限城篇 第一章 猗窩座再襲》在中國內(nèi)地上映，這是“鬼滅之刃”這個現(xiàn)象級IP首次登陸內(nèi)地大銀幕。據(jù)了解，本片內(nèi)地上映版時長155分鐘，和日版2025-12-30
京東集團：三季度收入2991億元同比增長14.9%，年度活躍用戶數(shù)突破7億
新浪科技訊 11月13日下午消息，京東集團發(fā)布了2025年三季度業(yè)績。三季度，京東集團收入為2，991億元人民幣約420億美元），同比增長14.9%，超出預(yù)期。凈利潤53億元，上年同期凈利潤117億元2025-12-30
銅等大宗商品飛漲！格力回應(yīng)制定相應(yīng)管控政策：空調(diào)不會鋁代銅
12月30日消息，最近全球銅價瘋漲即將過去的1年銅漲價超40%），這給下游廠商帶來了極大的壓力。事實上除了銅外，全球大宗商品近段時間都在瘋狂，其中還包含了白銀、錫等等，對于上游原材料成本的飛漲，格力也2025-12-30
貓科動物是最讓人著迷的動物類群之一，它們優(yōu)雅而充滿力量，高貴而又不失可愛，很難讓人不喜歡?！?猞猁貓科目前已描述的總共41個物種左右，主流上將它們劃分為2個亞科——豹亞科和貓亞2025-12-30